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工件完成加熱、保溫后移入前室，關閉中門后向前室充入惰性氣至大約2．66%26times;lO～1．01%26times;10Pa(200～760mm柱)，入油。油淬易惹起工件外表蛻變。由于外表活性大，在短暫的高溫油膜作用下即可發作顯著薄層滲碳，此外，碳黑和油在外表的粘附對簡化熱處置流程很不利。真空淬火技術的開展主要在于研制性能、工位單一的氣冷淬火爐。前述雙室式爐亦可用于氣淬(在前室噴氣冷卻)，但雙工位式的操作使大批量裝爐的消費發作艱難，也易在高溫挪動中惹起工件變形或改動工件方位增加淬火變形。單一工位的氣冷淬火爐是在加熱保溫完成后在加熱室內噴氣氣冷的冷速不如油冷快，也低于傳統淬火法中的熔鹽等溫、分級淬火。因此，不時進步噴冷室壓力，增大流量，以及采用摩爾質量比氮和氬小的惰性氣體氦和氫，是當今真空淬火技術開展的主流。70年代后期將氮氣噴冷的壓力從(1～2)%26times;10Pa進步到(5～6)%26times;10Pa，使冷卻才能接近于常壓下的油冷。80年代中期呈現超高壓氣淬，用(10～20)%26times;10Pa的氦，冷卻才能等于或略高于油淬，已進入工業適用。90年代初采用40%26times;10Pa的氫氣，接近水淬的冷卻才能，尚處于起步階段。工業興旺已停頓到以高壓(5～6)%26times;10。Pa氣淬為主體，而中國產氣淬一些金屬的蒸氣壓(理論值)與溫度的關系則尚處于普通加壓氣淬(2%26times;10Pa)型階段。
真結果真空滲碳為真空滲碳一淬火工藝曲線。在真空中加熱到滲碳溫度并保溫使外表凈化、活化之后，通入稀薄滲碳富化氣(見控制氛圍熱處置)，在大約1330Pa(10T0rr)負壓下停止滲入，然后停氣(降壓)停止擴散。滲碳后的精細鋼管淬火采用一次淬火法，即先停電，通氮冷卻工件至臨界點A，、以下，使內部發作相變，再停氣、開泵，升溫到Ac1，～Accm之間。淬冷辦法可采用氣冷或油冷。后者為奧氏體化后移入前室，充氮至常壓，入油。
